江苏快3攻略:非接觸多點面電阻測量系統

  • 產品型號:NC-80MAP
  • 制造原廠:Napson Corp.

江苏快3销售 www.hcgoni.com.cn NC-80MAP是由日本Napson公司推出的半自動渦電流非接觸式電阻率測量設備。它可以通過電腦進行控制,編輯測試需要測試的硅片大小,測試點位數量,運用渦電流非接觸式的量測原理進行測量,可以通過軟件輸出2D/3D Mapping圖,更高效的完成測量任務。

特點

  • 多點測試和圖譜顯示功能;

  • 寬范圍和高精度測試能力;

  • 標配2inch到8inch的測試能力;

  • 軟件提供數據表功能,可以提供SPC統計,有最大,最小,平均值和標準方差值;

  • 精密簡約的設計,比前代設備體積大大縮小,測試能力卻成倍提升

  • 軟件內置校正功能

  • (選配)擴展到全自動測試系統

  • (選配)擴展wafer 厚度測試功能

規格

  • 標準電阻率測試范圍: 0.01 ~ 3200 ohm/sq

  • 高阻測試范圍: 0.01 ~10k ohm/sq

  • 超高阻測試范圍: 0.01 ~ 100k ohm/sq

  • 探頭直徑:14mm

  • 測試點數: 標準配置217點, 可選999點

  • 測試重復性(1-Sigma,溯源VLSI標準片):

            0.04 ohm/sq: 0.1%

            0.16 ohm/sq: 0.1%

            1.6 ohm/sq: 0.1%

            16 ohm/sq: 0.1%

            400 ohm/sq: 0.2%

            600-1000 ohm/sq: 0.2% - 0.7%

            3000 ohm/sq: 1.5%

測試速度

點數       預計時間

5點(-)     17s(±1s)

5點(+)    21s(±2s)

9點(+)    24s(±2s)

17點       45s(±3s)

37點       70s(±3s)

73點       125s(±5s)

121點     195s(±10s)

217點     320s(±10s)


  • 面電阻測試范圍:0.005 ~ 3000 Ω/sq

    探頭類型

     - 超低:0.005 ~ 0.01 Ω/sq

     - 低:0.01 ~ 0.5 Ω/sq

     - 中:0.5 ~ 10 Ω/sq

     - 高:10 ~ 3000 Ω/sq

  • 探頭直徑:14mm

  • 探頭間隙:1.7mm ~ 2mm